什么是光刻(Photo Etching)？

光刻是在集成电路中产生线条或色调的一种工艺。印版可能会被蚀刻，也可能不会被蚀刻，但由于蚀刻深度的均匀性，色调的变化总是很小。蚀刻是一种既可以是湿的，也可以是干的。湿蚀刻是将材料溶解在化学溶液中，而干法蚀刻在离子...

光刻是在集成电路中产生线条或色调的一种工艺。印版可能会被蚀刻，也可能不会被蚀刻，但由于蚀刻深度的均匀性，色调的变化总是很小。蚀刻是一种既可以是湿的，也可以是干的。湿蚀刻是将材料溶解在化学溶液中，而干法蚀刻在离子或蒸汽的帮助下溶解一种物质。科学家用烧杯进行光刻，包括化学蚀刻、化学研磨、光化学加工、化学加工和金属蚀刻。它将光刻和基本蚀刻相结合。光刻是一种利用光刻胶覆盖的基底或酶作用的分子形成图案的过程。当光刻胶暴露在紫外光下并通过光掩模观察时，就会形成光刻胶。然后对基底进行蚀刻，光刻胶变成了一道屏障，只允许蚀刻材料的选定部分。光刻被称为半色调过程，因为灰色可以通过转换成半色调或以不同的长度蚀刻几次以产生不同的板深而形成。详细的金属零件可以这种工艺的一个优点是，它使产品很难再制造出来。此外，该工艺使产品及其设计更加灵活，允许使用更多种类的材料，消除了产品上的应力问题，它节省了在硬工具上的资金，缩短了生产周期。光刻需要精密的工具，因为它涉及到一种非常复杂、精细的切割和雕刻金属的方法。这种工艺的结果是一种非常薄的金属，通常深度只有0.002到0.2英寸（.05到5毫米）可以使用多种材料，包括铝、黄铜、青铜、银、镍、铜、钢和铁。不同的公司专门生产不同类型的零件。有些公司可以对厚度较轻的金属零件进行光刻，从而可以制造非常精密的零件。其他公司则将该工艺与下料相结合，这是一种用于形成零件的工艺通用工具。这种方法允许创建更复杂的设计和图案。还有一些公司使用各种工具来支撑较厚的金属，这些工具可以用来在金属表面产生凹槽。

发表于 2020-09-18 00:28
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分类：科学教育

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