什么是微执行器(Microactuator)？

执行器通常使用一种能源来移动或控制机械部件。它们经常出现在电动机和各种机器中。多年来，许多机械装置已经小型化，但这一过程通常要求单个部件也要小得多。21世纪的微型化已经发展到微执行器和其他部件都非常小，以至于...

执行器通常使用一种能源来移动或控制机械部件。它们经常出现在电动机和各种机器中。多年来，许多机械装置已经小型化，但这一过程通常要求单个部件也要小得多。21世纪的微型化已经发展到微执行器和其他部件都非常小，以至于经常需要使用强大的显微镜才能看到它们。工业过程中，如光刻和微加工被用来制造微型执行器，也可以制造出各种各样的类型。带烧杯的科学家静电微执行器是一种常见的类型，但是科学家也可以制造出能够产生更大功率的电磁驱动器，从而为像电机这样的设备供电。它们有时很难制造，但是它们是用集成电路的典型制造方法制造的。已经制造出直径约为0.04英寸（1毫米）的马达，研究人员经常用它将微小的导管插入生物细胞中。还有一种压电微致动器，其复合材料的反应类似于晶体，当被推动时，产生一个电压。薄膜可以沉积在硅上，可以在很短的距离内产生运动。它们有时被用于微型微型转子。超声波微执行器通常用于压电设备内置的小型电机中。这些可以集成到自聚焦机构中例如小型照相机。移动的机械部件可以在小规模上建造，但静电微致动器通常是由一种基于电荷弯曲的材料制成的。运动通常是微观的，产生的力很小一些旋转电机和直线运动梳齿驱动器就是基于这一原理而发展起来的。微执行器可以用来制造显示器和投影仪的微型反射镜。微型电流继电器和控制硬盘驱动器的小型机构经常使用这种微型器件。它们通常被称为微型机电系统（MEMS）一个包括多种微型运动部件的类别。微执行器的生产可以通过将零件蚀刻到硅树脂中来完成。光刻通常用于制造电路、光、化学物质，在这一过程中，典型的是将要添加的零件组成一层，成品通常是分层生产的，而微加工通常需要激光和扫描电子显微镜等，放置单个的原子和细胞。这两种方法都可以用来移动微执行器部件和制造微型装置。

发表于 2020-09-18 02:07
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分类：科学教育

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