微电子学完成了广泛的功能,其中一个重要的测量是振动。振动传感器测量的是所谓的振荡运动,一种连续来回的运动。方向可以用坐标系表示,与重力有关的力可以振动分析是通过测量位移、速度和加速度来完成的,主要由振动监测传...
微电子学完成了广泛的功能,其中一个重要的测量是振动。振动传感器测量的是所谓的振荡运动,一种连续来回的运动。方向可以用坐标系表示,与重力有关的力可以振动分析是通过测量位移、速度和加速度来完成的,主要由振动监测传感器来分析,包括压电式、积分式、压电式、压阻式、可变电容式等,以及伺服传感器。

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振动传感器通常被称为加速度计。压电加速度计根据作用在他们身上的力的能量工作,因此系统不需要额外的电源。传感器两侧的电子电荷位移用于产生测量值。这种传感器的常见类型包括剪切设计,用于处理较大的温差,梁式设计通常是首选,因为它通常以低成本提供。
集成电子压电传感器包括自己的小型放大器,所以不需要像压电产品那样的特殊电缆,输入输出信号通过与传感器相连的一根电缆,整个设计免受电噪声的影响,该装置还可以集成电子滤波器、电气过载保护,以及各种辅助功能。
压阻式传感器采用单臂或多臂设计,以产生更复杂的输出它由外部电源供电,允许输出信号用于监测稳定的振动条件,而不是改变方向或力。在高加速度条件下,可变电容振动传感器通常集成硅片和间隙,以保持耐久性。它们可以承受加速达到其规定工作范围的1000倍。
不像其他传感器依赖于开环配置、伺服或力平衡中晶体或其他元件的位移,加速度计采用闭环设计。伺服驱动的振动传感器具有更高的精度,可用于惯性制导系统。用于振动分析的其他常见传感器形式包括接近传感器。这些传感器通常位于机械内部,通过测量内部组件的电性来监测内部组件的运动导电性。虽然这些传感器是非接触式的,但其他振动传感器依靠接触来精确测量运动或距离。