真空沉积一词描述的是将单个粒子,特别是原子和分子,放置在表面上的一组过程。这些过程是在真空中进行的,以防止与气体粒子(如氧气)发生任何干扰或反应,这些气体粒子可能具有很强的反应性。一种非常薄的物质层表面被称为薄膜...
真空沉积一词描述的是将单个粒子,特别是原子和分子,放置在表面上的一组过程。这些过程是在真空中进行的,以防止与气体粒子(如氧气)发生任何干扰或反应,这些气体粒子可能具有很强的反应性。一种非常薄的物质层表面被称为薄膜,而较厚的一层称为涂层。真空沉积可用于许多不同的目的,例如在表面沉积导电层或保护金属免受腐蚀。该工艺也经常用于各种汽车零件上,以防生锈和腐蚀

真空沉积是一种将单个原子和分子放在表面上的过程。真空沉积最常用的方法是使用蒸汽。有时,将要沉积在表面的物质蒸发,然后在表面凝结成一层。在其他情况下,蒸发的物质与表面反应形成所需的薄膜或涂层。在某些情况下,必须控制其他因素,如温度或蒸汽密度,以获得所需的结果。这些因素可以影响层的厚度和粘结力,物理气相沉积是一种真空沉积,它只发生物理过程,没有化学反应;蒸发的物质在表面凝结。其中一种方法叫做电子束物理气相沉积。在电子束物理气相沉积中,待沉积的物质在其凝结在沉积表面之前用电子束加热和蒸发另一种常见的物理真空沉积方法是溅射沉积,即气体或蒸汽从某种来源喷射出来,直接喷射到要涂层的表面上。化学气相沉积是一种真空沉积的形式,其中化学过程用于产生所需的薄膜或涂层。气体或蒸汽与它们的表面发生反应用于真空镀膜。许多不同的化学物质,如氮化硅或多晶硅,用于不同的化学气相沉积过程中。真空是真空沉积的重要组成部分,它起着几个重要的作用。真空的存在会导致不良颗粒的低密度,因此,打算覆盖表面的粒子不会与任何污染粒子发生反应或碰撞,真空还允许科学家控制真空室的真空成分,从而可以生产出尺寸和浓度适当的涂层。