什么是俄歇电子能谱学(Auger Electron Spectroscopy)？

俄歇电子能谱（AES）通常用于测定表面一层薄薄的、微观的化学成分。被称为电子的粒子通常瞄准材料，触发俄歇效应，在这种效应中，一个原子内层的电子被移除，一个更高级的粒子取代，在超高真空中进行测试，通常用电子枪、分析仪、探...

俄歇电子能谱（AES）通常用于测定表面一层薄薄的、微观的化学成分。被称为电子的粒子通常瞄准材料，触发俄歇效应，在这种效应中，一个原子内层的电子被移除，一个更高级的粒子取代，在超高真空中进行测试，通常用电子枪、分析仪、探测器和数据记录器来完成，通常以图形方式分析信息；峰的性质通常有助于识别样品中存在的化合物。通常使用带烧杯的科学家光束，尽管有时会释放x射线。被测材料的类型决定了使用哪种材料，例如氧化物，如果暴露在高水平的电子下，会降解。物质可以被识别，因为俄歇电子的能量通常是元素特有的。在俄歇电子能谱学中，逃逸的粒子通常没有其他粒子那么有能量。它们通常需要非常靠近表面才能逃逸，在俄歇电子能谱中使用的电子枪通常由一个粒子源和一个聚焦光束的透镜组成，透镜可以是静电的，也可以是电磁的；使用哪一种取决于所需的分辨率。作为俄歇电子能谱技术一部分的电子能量分析仪可以根据发射粒子的能级对其进行分类。分析仪可以设计成柱面镜或两个半球形同心壳。通常使用单通道或多通道探测器用于俄歇电子能谱学，然后通过图形上的一组峰对数据进行分析扫描通常需要几分钟才能完成，而高分辨率的测量则可能需要25分钟。测量扫描通常可以识别出存在的元素，而另一次扫描则可以确定某些原子的浓度。如果束流扫描穿过样品，则可以生成被测表面的地图。俄歇电子光谱科学通常应用于许多物理和化学应用中。除了识别表面元素外，它还可用于检测氧化和腐蚀。可使用AES分析温度响应和相关疲劳。该技术还可用于检查集成电路中的污染物，但是这个过程的一个局限性是被测材料的表面经常会受到损伤。

发表于 2020-09-18 08:16
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分类：科学教育

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