什么是薄膜蒸发器(Thin Film Evaporator)？

薄膜蒸发器是用来制造薄膜的机器。通过蒸发或升华各种元素，薄膜蒸发器可以在基材上沉积极薄的原子或分子层。该机器包括一个真空室，一种加热元件和一种在薄膜沉积到基片上时保持和移动基板的装置。用钻孔机有两种主要...

薄膜蒸发器是用来制造薄膜的机器。通过蒸发或升华各种元素，薄膜蒸发器可以在基材上沉积极薄的原子或分子层。该机器包括一个真空室，一种加热元件和一种在薄膜沉积到基片上时保持和移动基板的装置。用钻孔机有两种主要的蒸发方式可以用来制造薄膜。这两种方法都是电阻蒸发和电子束蒸发，目标材料在薄膜蒸发器中加热，直到蒸发或升华。作为气体，目标材料通过真空室，直到它落在基底上并形成薄膜。这两种技术都要求目标材料和气体一样稳定。在电阻蒸发中，电流是通过一个目标材料，当它通电时，目标材料变热。有足够的热量，目标材料蒸发或升华。金和铝是常见的目标材料，可以以金属丝的形式蒸发，称为细丝。以细丝形式存在的目标材料很难装载到蒸发器上，并且只能少量工作。薄膜蒸发器也可以使用目标材料的薄片，它们通常更容易操作，蒸发时会产生更多的物质。有些目标材料不适合电阻蒸发，因为它们会在蒸发过程中释放出大量的固体物质。如果这些固体物质与在基底上形成的薄膜相碰撞，它们会破坏它。蒸发这些材料需要使用一种封闭的热源，它允许气体形式的物质通过小孔逸出，同时将部分固体物质困在加热室内电子束蒸发通过引导高能电子束照射目标材料来加热它。在这种薄膜蒸发器中，靶材在被电子轰击和加热的同时被保存在冷却的炉缸中。这一过程对于蒸发温度很高的靶材很有用，因为聚焦的能量束可以加热靶材而不加热整个仪器。存放靶材的容器不会暴露在极热，因此在过程中不会熔化或蒸发。这种薄膜蒸发需要特定的设备，而且成本很高。

发表于 2020-09-17 16:23
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分类：文化艺术

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