原子层沉积是一种化学过程,用于制造微处理器、光学薄膜和其他用于传感器、医疗设备的合成和有机薄膜,以及先进的电子技术,它将一层厚度只有几个原子的材料精确地沉积到基底上。沉积原子层有多种方法和方法,这已成为电子工...
原子层沉积是一种化学过程,用于制造微处理器、光学薄膜和其他用于传感器、医疗设备的合成和有机薄膜,以及先进的电子技术,它将一层厚度只有几个原子的材料精确地沉积到基底上。沉积原子层有多种方法和方法,这已成为电子工程、能源、纳米技术研究和材料科学研究的一个基本特征,这一过程通常包括原子层外延或分子层外延,当金属或半导体硅化合物形式的一层非常薄的晶体物质附着在较厚的类似材料层的表面上时。
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工人薄膜沉积是产品研究和生产的一个领域,由于精细为生产有用的设备和材料而必须进行的控制层。它通常涉及物理、化学和从机械到化学工程的各种工程的研究和开发。化学研究决定了化学过程是如何在原子和分子水平上发生的以及自限性是什么这些因素是为了晶体和金属氧化物的生长,因此原子层沉积能够始终如一地产生具有均匀特性的层。用于原子层沉积的化学反应室可产生1.1埃的沉积速率,或每个反应周期0.11纳米的材料,通过控制各种化学反应物的量和反应室的温度,在这些过程中常用的化学物质包括二氧化硅,二氧化硅,氧化镁,氧化镁和氮化钽,钽一种类似的薄膜沉积技术被用来生长有机薄膜,这通常是从有机分子的碎片开始的,例如各种聚合物。混合材料也可以用有机和无机化学物质制成,用于支架等产品中,这些支架可以放置在人体血管中,并涂有抗心脏病的缓释药物加拿大纳米技术研究所(Institute of Nanotechnology)已经在2011年用传统的不锈钢支架制造了一层类似的薄膜层来支撑塌陷的动脉。不锈钢支架上覆盖着一层薄薄的玻璃硅,它被用作一种基底,将大约60个原子层的糖类物质结合在一起厚度。碳水化合物以积极的方式与免疫系统相互作用,防止人体对动脉内的钢支架产生排斥反应。原子层沉积中使用了数百种化合物,它们有多种用途。其中一种是截至2011年研究最广泛的化合物之一是集成电路工业中高k电介质材料的发展。随着晶体管越来越小,小于10纳米尺寸,一种称为量子隧穿(quantum tunneling)的过程,电荷通过绝缘层泄漏,使得传统上用二氧化硅制作晶体管变得不切实际。高k电介质在原子层沉积测试中作为替代物的材料薄膜包括二氧化锆、氧化锌、二氧化铪、氟化氢和氧化铝,因为这些材料表现出更好的抗隧道效应。