什么是溅射机(Sputtering Machine)？
溅射机通常是一个小的，密封的腔室，高能粒子如电子轰击源材料，将原子从表面喷射出去。这些原子随后从室壁反弹，在室室内覆盖一个样品。扫描电子显微镜（SEM），它依靠样品的导电性来观察纳米尺度的特征，通常依靠这种机器先在生物...
溅射机通常是一个小的，密封的腔室，高能粒子如电子轰击源材料，将原子从表面喷射出去。这些原子随后从室壁反弹，在室室内覆盖一个样品。扫描电子显微镜（SEM），它依靠样品的导电性来观察纳米尺度的特征，通常依靠这种机器先在生物样品上涂上一层铂薄膜进行观察。溅射机技术的其他用途包括在半导体工业的沉积过程中镀膜和蚀刻表面远离材料层以确定其化学成分。
金餐具可以进行溅射沉积虽然溅射机制备样品的机器可能非常复杂和昂贵，但溅射设备不一定非得如此。这些机器可以是根据既定物理原理操作的相对简单的设备，而且往往缺少活动部件或需要复杂的维护，它们的尺寸从小型桌面设备到大型地板模型不等。
昂贵的珠宝可能会受到撞击物理气相沉积是溅射机设计中常用的一种方法沉积材料在低压（通常是部分真空）下在溅射室中转化为蒸汽，蒸汽在溅射室中冷凝到基底材料上形成薄膜。这种薄膜只有几层原子或分子厚，薄膜厚度的其他因素包括每种材料的质量和涂层粒子的能级，这些粒子的电荷可以从几十电子伏到几千伏不等被称为离子的带电原子也被溅射机用在一种称为电位溅射的过程中。溅射材料被赋予离子电荷，当它与目标表面发生碰撞时，它就会失去离子电荷。与此过程相关的是反应离子刻蚀（RIE），它利用天然离子材料进行二次离子质谱（SIMS）研究，分析材料中微量元素的存在，静态SIMS处理将以很好的速度溅射，只需从靶表面去除十分之一的原子单层，因此，它是另一种有用的纳米技术工具研究扫描电镜的溅射机。其他用途包括镀膜平板玻璃、丙烯酸树脂和其他塑料，以及除硅以外的陶瓷和晶体。它们也可以用作清洁和抛光精密部件的非常精细的方法。昂贵的珠宝和餐具（如金餐具）也可以进行溅射沉积，专业的金和铝膜也可以。
金餐具可以进行溅射沉积虽然溅射机制备样品的机器可能非常复杂和昂贵，但溅射设备不一定非得如此。这些机器可以是根据既定物理原理操作的相对简单的设备，而且往往缺少活动部件或需要复杂的维护，它们的尺寸从小型桌面设备到大型地板模型不等。昂贵的珠宝可能会受到撞击物理气相沉积是溅射机设计中常用的一种方法沉积材料在低压（通常是部分真空）下在溅射室中转化为蒸汽，蒸汽在溅射室中冷凝到基底材料上形成薄膜。这种薄膜只有几层原子或分子厚，薄膜厚度的其他因素包括每种材料的质量和涂层粒子的能级，这些粒子的电荷可以从几十电子伏到几千伏不等被称为离子的带电原子也被溅射机用在一种称为电位溅射的过程中。溅射材料被赋予离子电荷，当它与目标表面发生碰撞时，它就会失去离子电荷。与此过程相关的是反应离子刻蚀（RIE），它利用天然离子材料进行二次离子质谱（SIMS）研究，分析材料中微量元素的存在，静态SIMS处理将以很好的速度溅射，只需从靶表面去除十分之一的原子单层，因此，它是另一种有用的纳米技术工具研究扫描电镜的溅射机。其他用途包括镀膜平板玻璃、丙烯酸树脂和其他塑料，以及除硅以外的陶瓷和晶体。它们也可以用作清洁和抛光精密部件的非常精细的方法。昂贵的珠宝和餐具（如金餐具）也可以进行溅射沉积，专业的金和铝膜也可以。
- 发表于 2020-08-07 09:58
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