原子探针最初由德国物理学家埃尔文·威廉·穆勒(Erwin Wilhelm Muller)于1967年设计。原子探针显微镜的一个重要方面是它使用飞行时间光谱技术。这种技术测量了它所需的时间范围通过某种介质的原子或其他物体。它也可用于各种能量事件,如电磁波。其目的是确定路径的速度或长度,并确定粒子或其他现象的流速。基本上,电场是用来加速介质中的离子的,它可以测量动能并用来计算速度。场离子显微术也被用作原子探针的一种分析技术。它可以识别物体尖锐金属尖端表面的原子图像和组成。半径必须小于50纳米,并放置在真空室中极低的压力。当低温温度建立时,像氦或氖这样的成像气体被引入。在电场启动后,离子带正电荷并放大尖端的成分。这种技术的最先进形式之一是原子探针层析成像在这一过程中,使用位置敏感探测器产生三维图像,这项技术的改进,利用激光脉冲,可以观察金属以外的其他材料的成分。某些半导体材料,如硅或其他绝缘材料,可以用原子探针的方法进行分析技术。原子探测器最初是由德国物理学家埃尔文·威廉·穆勒在1967年设计的。另外一些科学家,如J.A.Panitz和S.Brooks McLane在当时扩展了这个概念。但是,直到2005年激光脉冲原子探针的商业化,这项技术才在材料科学领域得到高度普及。
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